永晶關聯：福建省邵武市永飛化工有限公司
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質量標準：
| 分子式：CF4 分子量：88.005 | |
|
項目 |
指標 |
|
四氟化碳純度(CF4) 10-2（v/v） ≥ |
99.999 |
|
氧氣(O2) 10-6（v/v） ≤ |
1 |
|
氮氣(N2) 10-6（v/v） ≤ |
4 |
|
水分(H2O) 10-6（v/v） ≤ |
1 |
|
二氧化碳(CO2) 10-6（v/v） ≤ |
1 |
|
一氧化碳(CO) 10-6（v/v） ≤ |
0.3 |
|
酸度(以HF計) 10-6（m/m） ≤ |
0.1 |
|
其他氟碳化合物 10-6（v/v） ≤ |
1 |
|
六氟化硫(SF6) 10-6（v/v） ≤ |
1 |
|
雜質總和 10-6（v/v） ≤ |
10 |
性狀：
四氟化碳相對分子量88.00。在常溫下，四氟化碳是無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體，是最穩定的有機化合物之一，不易溶于水。熔點（101.325kPa）：-186.8℃；沸點（101.325kPa）：-128.0℃；液體密度（-127.94℃，101.325kPa）：1603kg/m³；氣體密度（0℃，101.325kPa）：3.946kg/m³。
用途：
四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻；在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。由于化學穩定性極強，四氟化碳還可以用于金屬冶煉和塑料行業等。四氟化碳的溶氧性很好，被科學家用于超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣。
貯存：
應存放于陰涼干燥、通風良好的場所。
運輸：
運輸時，四氟化碳氣瓶上應附有GB190中制定的標志。
包裝：
四氟化碳可用無縫鋼瓶或鋁合金容器裝運，通常采用47L、40L、10L、8L等無縫鋼瓶充裝，充裝壓力12.5MPa，也可根據客戶需要選用各種容器的氣瓶。
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